工作原理：

數(shù)字式真空計按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。

利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱電離規(guī)和冷電離規(guī)。

量程范圍：

數(shù)字式真空計在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等[1] 。

在10~10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。

在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。

注意事項：

1、該儀器屬儀器，電路板布線密度較大，一般要求存放于較干燥的地方。若環(huán)境較潮濕，則應(yīng)經(jīng)常通電。

2、若測試后電流值顯示為零，應(yīng)檢查滅弧室表面是否清潔。因為表面不清潔可能使漏電的變化值大于電離電流值，這樣，測量值減去漏電后小于零，而被儀器判為零。發(fā)生這種情況后，將滅弧室表面檫干凈，再做試驗，一般來說這樣的真空度值較準(zhǔn)確。

3、使用時，高壓輸出線不得觸及人體，以防觸電。

4、高壓指示燈亮?xí)r，不要觸及高壓線和磁控電流線，以防觸電。

5、拆裝打印紙在儀器先斷電的情況下進行，以免損壞打印機。換紙時，將前面板打開，用食指和拇指捏緊打印機兩端的兩夾片輕輕拖出打印機，使出紙口略高于儀器面板，但不能拖出距離太大，將新紙端口部分剪成尖頭狀，插入打印機的進紙口，打開儀器電源開關(guān)，按下打印鍵，使紙從打印機的上端走出一段距離，插入面板出口縫導(dǎo)出。蓋好打印機面板，裝紙完畢。

6、本儀器無任何用戶可維修的部件,如出現(xiàn)故障,請專業(yè)人員維修,或與供應(yīng)商,切勿擅自打開儀器,以免發(fā)生意外或造成不必要的損失。

7、本儀器真空度測量范圍在9.999×10-1~1×10-5之間,離子電流測量范圍在9.999×10-1~1×10-7之間，當(dāng)真空管的真空度大于10-2 Pa或離子電流大于500uA時建議該真空管報廢。

8、若真空管內(nèi)壓力等于大氣壓(即真空管破損)，本儀器測量范圍內(nèi), 本儀器則拒絕檢測，返回初始狀態(tài)。

(注:擊穿后，儀器有可能出現(xiàn)顯示不正常，此時，按"復(fù)位鍵"，儀器回到正常狀態(tài)。)

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