量程范圍：

數(shù)字式真空計在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等[1] 。

數(shù)字式真空計在10~10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。

數(shù)字式真空計在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。

工作原理：

◆測試原理 

將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距，施加脈沖高壓，將電磁線圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場，這樣在脈沖磁場的作用下，滅弧室中的電子做螺旋運動，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對于不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同，當(dāng)測知離子電流后，通過離子電流一真空度曲線，由計算機自動完成真空度的計算，并顯示真空度值。

◆漏電電流的處理

對處于分斷狀態(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時，會有數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性，并且在數(shù)值上與10-4Pa數(shù)量級的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。

◆內(nèi)置多條真空滅弧室的測量曲線

真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵電源一定時，其放電電荷量是不同的，并且有相當(dāng)?shù)牟町�。為�?zhǔn)確測量，對每一種真空滅弧室有對應(yīng)的從電離電荷量到真空度的推算曲線。我廠 的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作，取得了很多真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù)，通過數(shù)學(xué)處理，產(chǎn)品內(nèi)置了很多真空滅弧室的測量曲線。

◆完善的輸入保護電路

當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時，測量時真空滅弧室會被高壓擊穿，瞬間的高壓直接加至信號輸入端的采樣電路上，使其承受十分強的電沖擊。真空計的信號輸入端的采樣電路增加了完備的保護電路，即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時工作不正常時（重新開機即可），也不會造成電路部分的損壞。

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