真空度測量儀的首要作用是,依據(jù)磁控放電的辦法測量真空泡內(nèi)離子電流,以此量測量泡內(nèi)真空度,并可用來評定真空泡運用壽命。該測量儀既可用來真空泡出廠檢測清流線,也可單真空開關(guān)真空度測量儀獨進(jìn)行測量。 基本任務(wù)原理磁控放電法測試真空度的基來源根基理如次:將真空泡兩觸頭拉開定然的開距,并置于通有大電流的螺線管內(nèi),在兩觸頭間強(qiáng)加高壓脈沖,從而在真空泡內(nèi)產(chǎn)生高壓磁場和軸向脈沖電場。那樣,在脈沖強(qiáng)電場和強(qiáng)磁場的作用下,真空泡中的電子作電鉆活動,并與剩余氣體分子發(fā)生碰撞產(chǎn)生水解,天生的離子電流與剩余氣體密度即真空度相近成對比關(guān)系。 研發(fā)的測量儀可用來測量走漏電流、全電流和離子電流3個電流值。 (1)走漏電流。將真空泡動態(tài)觸頭拉開定然的距離,并加高壓直流脈沖電壓,則會在兩觸頭間、觸頭和屏障罩間產(chǎn)生強(qiáng)磁場。依據(jù)場致發(fā)射實踐,負(fù)極和屏障罩名義會發(fā)射出電子,朝陽極活動,構(gòu)成電流,即走漏電流。因為電子的自在路程遠(yuǎn)弘遠(yuǎn)于兩觸頭距離,電子簡直不與真空泡內(nèi)剩余氣體分子發(fā)生碰撞,因為走漏電流使不得準(zhǔn)確反響真空泡的真空度。 (2)全電流。為了使走漏電流的電子可以與剩余氣體分子發(fā)生碰撞,眼前常用的辦法是在軸向上加一較強(qiáng)的電場,使得場致發(fā)射的電子在磁場和電場的單獨作用下發(fā)生電鉆活動,這加長了電子活動的路程及與剩余氣體分子發(fā)生碰撞的或然率。當(dāng)電子與剩余氣體分子發(fā)生碰撞后會產(chǎn)生水解景象,并構(gòu)成穩(wěn)固的矜持放電,那時測量出的電流值為全電流值。 (3)離子電流。全電流的測量值囊括了負(fù)極和屏障罩發(fā)射的走漏電流,以及剩余氣體被碰撞后產(chǎn)生水解的離子電流。為了****測量真空泡內(nèi)的真空度,還得從全電流中減失落走漏電流值蓄電池測量儀,失去的才是****體現(xiàn)真空泡真空度的離子電流值。真空泡運用壽命評定原理:真空泡跟著一般運用時間的增加,外部真空度也呈線性增多。經(jīng)過內(nèi)定兩個距離時間比擬適當(dāng)時的真空度,就可肯定其變遷率,從而肯定運用過恣意時間后真空泡真空度的巨細(xì)接地電阻測試儀 |
